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佛山鎳釩合金靶
佛山鎳釩合金靶是一種在薄膜制備領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用的濺射靶材,其主要用途包括磁記錄、光伏太陽(yáng)能、觸控顯示和半導(dǎo)體等領(lǐng)域的器件鍍膜。由生產(chǎn)高屬材料的公司研發(fā)生產(chǎn),鎳釩合金靶材以其高純度、高硬度和良好的耐腐蝕性能而備受。具備這些優(yōu)良特性,使得佛山鎳釩合金靶材在各種應(yīng)用環(huán)境中表現(xiàn)。
制備佛山鎳釩合金靶材所需的工藝包括真空熔煉、澆注、熱鍛、熱穿孔或熱擠壓成管狀、冷拉、退火和機(jī)加工等過(guò)程。這些嚴(yán)格的工藝流程確保了靶材的質(zhì)量和性能能夠達(dá)到優(yōu)水平,從而滿足不同領(lǐng)域的高要求。
在集成電路制造過(guò)程中,佛山鎳釩合金靶材發(fā)揮著重要作用。由于在表面導(dǎo)電層會(huì)與硅晶圓形成低熔點(diǎn)化合物,容易導(dǎo)致界面粘接不牢固,而鉬合金靶材正好可以應(yīng)對(duì)這一問(wèn)題。其中,鉬層作為粘接層,而釩層則作為阻擋層,有效防止金導(dǎo)電層和鉬粘接層之間的擴(kuò)散,從而提高粘接的牢固性。
此外,佛山鎳釩合金靶材的含釩量較高,這不僅增加了材料的硬度,還提升了其耐腐蝕性能。其在高溫環(huán)境下表現(xiàn)出色,具有出色的熱穩(wěn)定性,即使在長(zhǎng)時(shí)間高溫作用下也不會(huì)出現(xiàn)變形或破裂情況。
相較于其他常見(jiàn)的合金靶材,佛山鎳釩合金靶材價(jià)格相對(duì)較低,使其在薄膜制備領(lǐng)域中得到廣泛應(yīng)用。同時(shí),通過(guò)微量添加稀土元素,還可以進(jìn)一步提升其性能,如增強(qiáng)純度、細(xì)化顯微組織以及改善穩(wěn)定性和熱硬性等方面。
綜上所述,佛山鎳釩合金靶材是一種性能優(yōu)越、應(yīng)用廣泛的濺射靶材。隨著科技的不斷發(fā)展和應(yīng)用領(lǐng)域的拓展,相信佛山鎳釩合金靶材的性能和制備工藝也將不斷被優(yōu)化和提升,滿足多領(lǐng)域的需求。
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